14.06.
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11.06Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS)
Entwickler von Dünnschicht-Gas-Sensoren profitieren von geheizter Substrat-Plattform
Das Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS entwickelt und fertigt individuelle beheizbare Test-Chips für die Charakterisierung neuer Materialien der Gas-Sensorik. Darauf abgeschiedene sensorische Schichten und deren...